【流体控制装置】技术领域本发明涉及在必须进行流体控制的流体输送配管中所使

　　用的流体控制装置。更加详细而言，主要涉及容易设置、配管以及布线连接在半导

　　体制造装置内，即便流过脉动的流体也能够不出问题地进行流量控制，能够在较大

　　的流量范围内稳定地、高精度地进行流量控制的流体控制装置。背景技术一直以来，

　　作为半导体制造工序的一个工序，使用以纯水稀释氟酸等的药液而成的清洗水对晶

　　片表面进行蚀刻的湿式蚀刻。必须以高精度对这些湿式蚀刻的清洗水的浓度进行管

　　理。近年来，以纯水与药液的流量比对清洗水的浓度进行管理的方法渐成主流，因

　　此，应用以高精度对纯水、药液的流量进行管理的流体控制装置。作为流体控制装

　　置，有各种各样的提案，有如图19所示那样的进行将纯水温度设为可变时的流量

　　控制的纯水流量的控制装置301(例如，参考特开平11-161342号公报)。控制装置

　　301，其结构为，具备：用于对纯水流量进行调整从而受到操作压力的作用而调节

　　开度的流量调节阀302，用于对向流量调节阀302供给的操作压力进行调整的操作

　　压力调整阀303，用于对从流量调节阀302所输出的纯水流量进行计测的流量计测

　　器304，和用于容许或截断通过流量计测器304的纯水的流动的开闭阀305；通过

　　使由操作压力调整阀303所调整的操作压力与流量调节阀302中的纯水的输出压力

　　均衡，从而将从流量调节阀302输出的纯水流量控制为一定；其特征在于：设置有

　　用于以使由流量计测器304计测的计测值变为一定的方式、基于该计测值对从操作

　　压力调整阀303向流量调节阀302供给的操作压力进行反馈控制的控制回路。其效

　　果是：即便流量调节阀302中的输出压力伴随纯水的温度变化而变化，买球的app但与该变化

　　量相对应，操作压力被实时调整，从而从流量调节阀302输出的纯水流量得到调整，

　　因此能够高精度地将纯水流量保持为一定值。另外，作为部件设在一个箱体内的电

　　驱动流体控制装置，有如图20所示那样的与运送流体的流体回路直通连接的流体

　　惰性的流道的外壳307，与流道连接的可调节的控制阀308，与流道连接的压力传

　　感器309，和位于流道内的节流部310；控制阀308与压力传感器309被收纳在外

　　壳307内，进而在外壳307内收纳有：具备电气地进行控制阀308的驱动的电动马

　　达的驱动器311，和与控制阀308以及压力传感器309电连接的控......完整内容请