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ASML申请光学放大器设备专利诱导通过放大腔室的大致螺旋状流体流-买球平台app
ASML申请光学放大器设备专利诱导通过放大腔室的大致螺旋状流体流
发布时间:2025-12-26 19:39:28

  国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司和通快激光系统半导体制造欧洲公司申请一项名为“光学放大器和用于所述光学放大器的设备”的专利,公开号CN121219923A,申请日期为2024年4月。

  专利摘要显示,一种用于被配置成放大激光束的光学放大器的设备,包括:放大腔室;涡流诱导器;和一对电极。所述放大腔室是大致管的形式。所述涡流诱导器被布置成在流体被泵送通过所述放大腔室时在所述流体中诱导涡流,以便诱导通过所述放大腔室的大致螺旋状流体流。所述一对电极被布置成在所述放大腔室内施加电压。所述一对电极中的每个电极为大致螺旋状。所述涡流诱导器和所述一对电极被配置成使得通过所述放大腔室的所述大致螺旋状流体流的节距与所述一对电极的沿所述放大腔室的节距大致匹配。

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