智芯维流体申请一种半导体设备气密性检测工装专利解决现有气密性检测工装效率低的问题
发布时间：2025-12-06 13:40:28
国家知识产权局信息显示，上海智芯维流体技术有限公司申请一项名为“一种半导体设备气密性检测工装”的专利，公开号CN121068104A，申请日期为2025年10月。专利摘要显示，本发明涉及一种气密性检测工装，属于气密性检测技术领域，具体是一种半导体设备气密性检测工装，包括支撑地板，所述支撑地板的顶部壁面固定安装有固定底座，固定底座的顶部设置有驱动组件，支撑地板的顶部设置有检测组件；支撑地板的顶部设置有两个推送组件；本发明，将待检测设备放入检测箱内，通过伺服电机的输出端驱动偏心杆一和偏心杆二转动，将检测箱的一侧密封，同时向其的内部加压，对设备进行密封性检测，检测箱的另一侧解封，同时密封盖板与检测箱分离，检测箱的一侧被打开，此时可将在其内部的设备取出；解决了现有气密性检测工装检测效率低的问题。
天眼查资料显示，上海智芯维流体技术有限公司，成立于2023年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，上海智芯维流体技术有限公司专利信息1条。
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